ZF450型全自动热蒸发镀膜机

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——*电阻器热蒸发镀膜供货商，我们为您提供下列信息内容。

选用3～8组蒸发源可适配金属材料、有机化合物蒸发。广泛运用于高等院校材料、物理学、有机化学、电子器件、电力能源等有关课程及其科研单位制取*作用塑料薄膜、蒸镀电级等，非常合适OPV/钙钛矿/无机物太阳能薄膜充电电池、半导体材料、有机化学EL、OLED显示信息科学研究与开发设计行业。

1.前开关门真空内腔，便捷拿取基片、拆换蒸发舟、加上蒸发材料及其真空室的平时维护*；

2.1200L/s分子泵做为主抽泵，真空限达到5×10-5Pa；

另可选择進口磁悬浮分子泵或是低温泵做为主抽泵，真空限达到 3×10-6Pa；

3. 组水冷器蒸发电级，单室有机无机热蒸发镀膜机多少钱，可长期平稳工作中，适配金属材料材料与有机化学材料的蒸发源设计方案，

源间有避免交叉式环境污染挡板；

4. 真空蒸发开关电源，恒流电源/恒输出功率操纵。可保持一键启动和终止的自动控制系统作用；

5.较大120mm基片/15～25mm ITO/FTO夹层玻璃25片，可订制一体化高精密刻蚀掩膜板；

6.基片台自转，转速比0～25rpm持续可调式；

7. 衬底可挑选加温或水冷散热，源基距较大350mm；

8. 选用進口膜厚监控器仪在线监控和操纵蒸发速度、膜厚；

9. 可堆积金属材料（Au， Ag， Al， Ca，多源有机无机热蒸发镀膜机多少钱， Cu， Mg， Fe， Cr， Ni等）、非金属材料、化学物质（MoO3， LiF等）

及有机化合物材料， 可扩展堆积单面膜、双层膜及混和膜；

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派瑞林镀膜的作用

医用涂层派瑞林（Parylene），Parylene提供了惰性、生物相容的隔离层，有机无机热蒸发镀膜机多少钱，可有效隔离外界的*、水分和体液的侵蚀；同时增加了表面的干润滑性，单室有机无机热蒸发镀膜机多少钱，Parylene具有佳的生物相容性，NC材两者均列入FDA及美国药典（USP）第VI级材料；Parylene在以下医用器件中已获得成功的应用：丁基胶瓶塞，压力传感器，*起博器、假肢、骨钉、电路板、各类导管、斯坦特固定膜、超声换能器、骨骼生长促进器、脑部电*、针头、进饲管、人造耳蜗、导尿管及其金属线、腹窥镜器材等．

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多源有机无机蒸发系统

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主要用途：

用于纳米级单层及多层金属膜、 半导体膜等新材料的制备。广泛应用 于大专院校的薄膜材料科研。

系统组成:

由真空室、蒸发源、样品台、 真空测量、膜厚测试、电控系统组成。

技术指标：

*限真空度5.0×10-5Pa，系统漏率：1×10-7PaL/S； 恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm

样品台：尺寸为4英寸厚度3mm的平面样品；

电*：数量：4支水冷结构；直径Φ20㎜

样品基片:，基片在镀膜位置实现自转。基片的温度从室温至600℃

4套挡板系统：基片挡板与源挡板；靶挡板共有3套， 样品挡板（１套）

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统。

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