电子束镀膜机介绍

** 带旋转的倾斜沉积

** 行星式基片夹具

** 基片RF/DC偏压

** 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀

** 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）

** 用于反应蒸镀的MFC

** 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵

** 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹

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电子束蒸镀系统的特点

** 涡轮分子泵，双枪电子束镀膜机厂，串接机械泵或干泵

** pocket电子枪

** 电子束源和基片遮板

** *的开关电源，杰出的消弧性能

** 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

** 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

** 旋转样品台，DZS800型电子束镀膜机厂，提供高均匀性

** 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

** PC全自动控制，具有高度的可重复性

** Labview软件的计算机全自动工艺控制控

** 多级密码保护的授权访问设计

** EMO保护以及完全的安全联锁

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电子束蒸发镀膜机各部件介绍

1、烘烤照明系统1套。烘烤温度：室温-150℃。（在10-4Pa时，真空室内残余气体的组合，水蒸汽约占 90%以上，因此在该压强下进行蒸镀，实际上相当于在水蒸汽中制膜，为了减少水份，提高真空室温，使水分解，是提高膜层质量的一种可行办法）。

2、电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、挡板等）、数显真空计等。柜底下配脚轮，方便移动、*。

3、手动按钮式操作，备留机电转换及控制接口，方便实验记录.

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