对于10000级和100000级洁净厂房。预过滤可选用F8过滤器，这样末端高i效过滤器的使用寿命一般可达五年。在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高的级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，太仓高温过滤器，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高i效。那时高i效过滤器的使用寿命仅为1--3年，差的也就几个月。可见，高压高温过滤器，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。

过滤器（filter）是输送介质管道上不可缺少的一种装置，通常安装在减压阀、泄压阀、定水位阀 ，方工过滤器其它设备的进口端设备。

空气过滤器

空气过滤器设在油箱上，具有防止污染物由于油箱的油量变动而随空气混入油箱。因此过滤精度要具有与过滤器同等以上的性能，高温过滤器价格，容量要留有充分余地，以防由于孔阻塞使油箱内压变成负压，高温过滤器厂家，引起泵的空穴现象。在周围环境恶劣时尤其要注意。

真空过滤器在容器外壳内充满悬浮液。两侧包有滤布的滤叶浸于悬浮液中，滤叶内腔与真空系统连通。滤液吸出后由导管引出，积在滤叶表面的滤渣在停机后清除。连续操作的真空过滤器适于过滤含固体颗粒较多的稠厚悬浮液。转鼓真空过滤器、内滤面转鼓真空过滤器、 圆盘真空过滤器和翻斗真空过滤器的工作原理均相似。整个过滤面分成多个隔开的过滤室，每个回转的过滤室通过分配阀与各固定管顺序接通，以吸出过滤室内的滤液、洗液，或送入压缩空气。