平面全息光栅

全息光栅通常用于对杂散光敏感的应用中。其基底镀有光敏材料，将有光敏材料涂层的基板置于由激光器产生的单色光和相干光束组成的相交光束之间，使光敏材料感光。相交激光束产生一系列平行且等距的干涉条纹，条纹强度按照正弦曲线形状变化。由于光敏材料的溶解度由对其照射的光强决定，干涉条纹显示了光敏材料表面不同光强。然后可以对基底镀反射膜然后用与复i制刻划的原始光栅相同的过程用于复i制。由于全息光栅刻线形状以及刻线间距是完全一致的，所以产生的杂散光远少于刻划光栅。全息光栅可以采用两种凹槽轮廓，正弦和闪耀。

凹面光栅

凹面光栅是1882年罗兰（Rowland）提出的，它是刻划在球面的一系列等距刻槽的反射式衍射光栅。与平面光栅必须借助成像系统来形成谱线不同，盐城光栅，凹面光栅在光路中兼具色散和聚焦两种作用，因此在凹面光栅光谱仪中就只有狭缝、凹面光栅和检测器组成，光路紧凑。今天绝大部分直读式光谱仪（包括火花、多通道ICP）均采用凹面光栅作为色散元件，但凹面光栅的像散问题是比较严重的，通过特殊的方式，也可以优化像散和慧差。

凹面衍射光栅

光栅绝i对衍射效率的理论计算发展的较为完善，至今已提出了许多新的概念与方法，然而测量凹面光栅的相对衍射效率的通用设备却较少提及。目前，凹面光栅的衍射效率测试设备一般采用双单色仪结构，前置单色仪提供单色光，凹面光栅，后置测量单色仪对光栅衍射效率进行测量。

美国田纳西州光栅实验室研制了工作在紫外波段的凹面光栅衍射效率测试装置，通过来回移动探测器达到测量不同波长、不同聚焦位置、不同级次的衍射效率目的，然而该装置对待测凹面光栅的衍射效率进行测量时仅能给出分立波长的结果。曲艺利用光栅二级光谱影响反射样品光谱反射率的原理来获得真空紫外波段光栅二级光谱衍射效率，该方法存在测量波长范围较小且需要已知参数较多的问题。

中红外光谱波段凹面光栅衍射效率测试装置，该装置可测量待测凹面光栅的绝i对衍射效率，反射光栅，但是该仪器仅能对单一类型的凹面光栅衍射效率进行测量。此外，传统双单色仪结构的凹面光栅衍射效率测量方法中，待测光栅和标准反射镜出射光谱带宽不一致、光栅叠级、测量过程中光源不稳定性等问题影响光栅衍射效率的测量精度；前置单色仪需要定期进行定标、一次测量只能实现单一波长衍射效率的测量等因素又降低了其测量效率。

针对以上问题，平面光栅，本文提出了一种基于傅里叶光学原理测量凹面光栅衍射效率的新方法，建立了该方法测量凹面光栅衍射效率的数学模型，并对测量中各影响因素进行了仿i真分析。对比传统双单色仪结构，本文方法能够有效避免光源不稳定性、出射光谱带宽不一致、光栅叠级等问题对测量结果的影响，同时具有多波长同时测量、高光通量、高光谱分辨率、高波数精度、*杂散光强的优势。