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兴之扬吹风机钢网片小编给大家介绍湿式蚀刻对溶液浓度及温度有什么要求:

湿式蚀刻的速率通常可藉由改变溶液浓度及温度予以控制。溶液浓度可改变反应物质到达及离开待蚀刻物表面的速率,一般而言,当溶液浓度增加时,蚀刻速率将会提高。而提高溶液温度可加速化学反应速率,进而加速蚀刻速率。

湿式蚀刻除了溶液的选用外,选择适用的屏蔽物质亦是十分重要的,它必须与待蚀刻材料表面有很好的附着性、并能承受蚀刻溶液的侵蚀且稳定而不变质。而光阻通常是一个很好的屏蔽材料,且由于其图案转印步骤简单,因此常被使用。但使用光阻作为屏蔽材料时也会发生边缘剥离或龟裂的情形。边缘剥离乃由于蚀刻溶液的侵蚀,造成光阻与基材间的黏着性变差所致。解决的方法则可使用黏着促进剂来增加光阻与基材间的黏着性,如Hexa*-disilazane(HMDS)。龟裂则是因为光阻与基材间的应力差异太大,减缓龟裂的方法可利用较具弹性的屏蔽材质来吸收两者间的应力差。

蚀刻化学反应过程中所产生的气泡常会造成蚀刻的不均匀性,气泡留滞于基材上阻止了蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,将使得蚀刻速率变慢或停滞,直到气泡离开基材表面。因此在这种情况下会在溶液中加入一些催化剂增进蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,并在蚀刻过程中予于搅动以加速气泡的脱离。



浅析蚀刻加工中不锈钢料的膨胀系数

1、碳钢的密度略高于铁素体和马氏体型不锈钢方钢,不锈钢方钢和碳钢的物理功能数据比照。而略低于奥氏体型不锈钢方钢;电阻率按碳钢、铁素体型、马氏体型和奥氏体型不锈钢方钢排序递增;线膨胀系数巨细的排序也相似,

2、奥氏体型不锈钢方钢蚀刻加工不锈钢材料的膨胀系数高而碳钢小;碳钢、铁素体型和马氏体型不锈钢方钢有磁性,奥氏体型不锈钢方钢无磁性,但其冷加工硬化生成成氏体相变时将会发生磁性,可用热措置办法来消弭这种马氏体*而恢复其无磁性。

3、奥氏体型不锈钢方钢与碳钢比拟蚀刻加工不锈钢材料的膨胀系数具有下列特点:1高的电阴率,约为碳钢的5倍。2大的线膨胀系数,比碳钢大40%,并跟着温度的升高,线膨胀系数的数值也响应地进步。3低的热导率,约为碳钢的1/3不锈钢方钢的力学性不管不锈钢方钢板照样耐热钢板,奥氏体型的钢板的综合功能好,既有足够的强度,又有好的塑性还硬度也不高,这也是被普遍采用的缘由之一。

4、奥氏体型不锈钢方钢同绝大大都的其它金属材料类似,蚀刻加工不锈钢材料的膨胀系数其*拉强度、屈从强度和硬度,跟着温度的降低而进步;塑性则跟着温度降低而减小。其*拉强度在温度15~80局限内增进是较为平均的更主要的跟着温度的降低,其冲击韧度削减迟缓,并不存在脆性改变温度。所以不锈钢方钢在低温时能坚持足够的塑性和韧性。不锈钢方钢的耐热功能耐热功能是指高温下,有耐气体介质侵蚀的功能即热不变性,蚀刻不锈钢材料的膨胀系数还在高温时双有足够的强度即热强性。



兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些?

干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快,则产能越快,有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制,一般而言,在其它因素尚可接受的范围内,蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标,均匀度越好意谓着有较佳的良率,当晶圆尺寸越来越大,均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳,除了少数特例,如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole),为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage),因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。


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