为什么要使用高纯氨？

假如氨的纯度不够高，例如氨中混有一些水（氨*易溶于水，而且我们周围环境中到处都是水），会有什么后果呢？

会先跟水（而不是跟氨）反应：

SiH4 2H2O → SiO2 3H2；

实际上，只要氨中水含量达到万分之一，水基本上就完全代替氨从而和反应，高纯氧气哪家好，反应生成的是 SiO2 而不是 Si3N4，这样就无法满足电子工业严格要求的工艺条件了，其中的原因在于水比氨更容易与反应结合，生成的SiO2 也比 Si3N4更稳定。

高纯氨应用原理是什么？

【1】 Ga(CH3)3 NH3 → GaN 4CH4；

这个反应是制造发光二*管（LED）外延芯片的氮化的基 础，反应在昂贵的 MOCVD （有机金属气相沉积）设备上完成。

【2】 3SiH4 4NH3→ Si3N4 12H2；

这个反应是制造氮化硅（Si3N4 ）的基础，由（SiH4 ）和高纯氨在较高温度下，在化学气相沉积（CVD）设备中进行反应，此反应也需要相当数量的高纯氨气。

在氨的回收装置中，高纯氧气，洗涤塔顶部有排气口，要控制排放气体中的含氨量，要低于环保要求。澄江纺机厂和南京化工大学协作创制的氨回收系统，是吸收和压缩相结合的方法。当年2000年1月由中国纺机器材协会组织的现场考察，一致认为该氨回收循环系统是成功的，在整个回收系统是创造性地运用了低压吸收、低压精馏、低温除水、压缩冷凝的“三低一压”技术，高纯氧气报价，既简化设备又节约能源，该法是在低温低压下操作运转，安全系数大，还有利于减少维修力量。主要有洗涤塔（吸收塔）、精馏塔、压缩机、冷凝器、液氨贮存罐。


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