并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级****为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用*之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,台州无尘室设备搬迁公司哪家好,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以****微粒子污染。
无尘室内****微粒子污染基本原则:
排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。针对排气的对策如下:由于导入同量的外气是必要的,但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时,不仅仅是向无尘室外排气,负离子检测仪而应采用将除去粒子后的空气再回流到无尘室内之对策。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,工厂无尘室设备搬迁公司哪家好,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,厂房无尘室设备搬迁公司哪家好,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或*,以增强去污能力,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免*地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。