三坐标测量仪旋转测座在校正多测头位置后，应该对多测头位置校正的准确性进行复核。方法是用校正后的测头位置测量标准球，观察这些测头位置所测量的球心坐标的偏差。如果偏差在重复性指标内，其测头校验的结果是正确的，否则需要重新校验。

一般情况下，如果出现不同测头位置测出的标准球球心坐标偏差大的情况，要仔细检查三坐标测量仪测座、测头、测杆、测尖、标准球的固定情况。决大多数的问题出现在这些地方。

三坐标如果气源达不到要求，可能引起以下严重结果：

A、未及时更换滤芯，含油水量超标，三坐标导轨面产生油迹或水迹，影响三坐标正常使用，精度超差。

B、未及时清理油迹或水迹，空气中的灰尘落在导轨面上，嘉兴三坐标测量机，与油迹或水迹混合，车间型超高速三坐标测量机，贴附在导轨面上，导致三坐标无法正常运行，可能烧毁电机及控制柜。

C、未及时更换滤芯，含油水量超标，大量的油水混合物通过电磁阀，带走润滑脂，造成电磁阀动作失灵，手动三坐标测量机，无法打开或关闭，Z轴失去保护，撞坏测头部分。

D、未及时更换滤芯，微尘含量或颗粒大小超标，进入电磁阀，造成电磁阀动作失灵，无法打开或关闭，Z轴失去保护，撞坏测头部分。

E、未及时更换滤芯，微尘含量或颗粒大小超标，可能引起空气轴承堵塞，导致其无法浮起，划伤导轨或空气轴承，三坐标无法正常使用。

F、压缩空气含水量含油量超标，对于三坐标测量机零件长期造成腐蚀，降低测量机使用寿命。

G、压缩空气含水量，含油量及含尘量超标，对气缸壁及活塞造成腐蚀，长期结果就是气缸漏气，撞坏测头。

三坐标测量仪的Z轴平衡分为重锤和气动平衡，主要用来平衡Z轴的重量，单边桥式三坐标测量机，使Z轴的驱动平稳。如果误动气压平衡开关，会使Z轴失去平衡。处理的方法：

1) 将测座的角度转到90，0，避免操作过程中碰测头。

2) 按下“紧急停”开关。

3) 一个人用双手托住Z轴，向上推、向下拉，感觉平衡的效果。

4) 另一人调整气压平衡阀，每次调整量小一点，两人配合将Z轴平衡调整到向上和向下的感觉一致即可。