微压力传感器与传统的比较

微压力传感器与传统的比较采用半导体材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器。与传统压力传感器相比，微压力传感器具有精度高、灵敏度高、动态特性好、体积小、耐腐蚀、成本低等优点。纯单晶硅的材料疲劳小，采用这种材料制造的微压力传感器的长期稳定性好。同时，微压力传感器易于与微温度传感器集成，压力传感器品牌，增加温度补偿精度，压力传感器供货商，大幅提高传感器的温度特性和测量精度。如果将2个微压力传感器集成，又可以实现静压补偿，从而提高压力传感器的静压特性。由此可见，微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点，能够很好地满足石化行业对压力传感器的需求。压力传感器所用的元件材料是具有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。根据晶体不受定向应力时，电导率是同性的，只有受定向应力时才表现出各向异性，由于应力能引起能带的变化，能谷能量移动，导致电阻率的变化，于是就有电阻的变化，压力传感器加工，从而产生压阻效应。单晶硅效应包括n型和p型硅压阻效应。选用扩散硅目的在于在设计制造压力传感器时可根据不同温度下硅扩散层的压阻特性选择合适的扩散条件，力求使压力传感器具有良好的性能。多晶硅在传感器中有广泛的用途，可作为微结构和填充材料、敏感材料。

*压力传感器校准方法和两线制

*压力传感器校准方法和两线制具体操作过程如下：当变送器的压力值为零f或下限值).其电流输出值不是4.000mA或其示值误差超出允许范围时.通常采用手操器进行清零操作。当无论如何清零，电流输出值伪不能满足要求时，在输入端加人压力(由式(1)计算)。此时通过手操器进行清零操作.随后将输入端压力变为零。这时的压力零位输出值就基本接近4.000mA或在示值误差允许范围内如果零点还有误差且有必要调整.应反复执行此操作式中：广一变送器输入端压力，Pa;一变送器输入端量程上限压力值，Pa;Pl厂变送器输入端量程零点(下限)压力值，Pa;，r校准前变送器输出值，mA;，厂变送器零点理论输出值，mA，电流输出为4.000mA;——变送器量程上限理论输出值.mA，电流输出为20.O00mA。

压力传感器发展历史我们预计系统级层面将发生较大的变化，特别是在汽车领域，该领域已经受到了汽车电气化和自动化所带来的影响。汽车电气化对于包含内燃机引擎的HEV（混合动力汽车），影响将是正面的，因为内燃机引擎需要使用多个压力传感器。但是，对于ZEV（零排放车型）（包括纯电池车辆BEV和燃料电池车辆FCV），它们没有内燃机，因此也去除了对动力传动系统传感器的需求。而汽车动力传动系统占据了汽车MEMS压力传感器总需求量的51%，压力传感器，因此，的动力传动系统压力传感器制造商（如Bosch、Infineon、Denso）需要考虑它们未来的业务规划。不过，汽车电气化和自动化带来的市场变化，或将超过10年。零排放车辆对汽车动力传动系统压力传感器业务的长期影响。

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