对表面3和4执行相同操作,然后运行MACro并再次模拟退火。 评价函数下降了。 并继续释放变量G 11到G 20。评价函数下降到0.018。 这是很明显的进步。 现在释放剩余的G变量以及圆锥常数CC,并在YG和ZG变量上注释掉SKIP指令。 (如果你自己运行这个操作,结果通常有所不同,因为模拟退火阶段将随机性纳入过程。但总体质量通常是相似的。)评价函数已降至0.011。 结果非常好。
您可能想知道为什么我们一开始就不让CC变化。表面从平面开始,不能把圆锥常数赋给平面。所以我们要等到平面变成曲面后才能改变CC。现在评估我们目前的结果。 转到MAP对话框(MMA)并要求在物点网格,光学镜头设计,物点CREC,光学,光线图样CREC 9,显示圆圈,EANALOG比例1.0和执行的网格上绘制波前差的图案。
我们注意到有些镜片边缘很薄; 我们将AEC命令行更改为AEC 2 1 1。
这将对任何厚度小于2毫米的边缘进行优化。
此外,由于某些元件相当薄,因此在AANT文件中添加一个命令行:ACM 3 1 1
这将对任何厚度小于3毫米的厚度进行优化。 再次优化和模拟退火,评价函数现在为0.434。 (向评价函数添加任何新内容通常会使值上升。)我们仍然怀疑元件1可以被删除,所以我们再次运行AED。 结果显示为表面5。所以我们让它删除该元件并再次优化。 现在评价函数为0.451,我们再次运行AEI。 程序在曲面7处添加元件,评价函数降至0.35。 这是一个非常好的镜头
你现在使用的电脑有一个*处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头*加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。
镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,光学照明,可以让光束经过遮光罩,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。