石英挠性加速度计是一款高准确度惯导级加速度计，石英挠性加速度计具有优良的长期稳定性、重复性、启动性能、环境适应性及高可靠性等特点，既可用于静态测试也可以用于动态测试，也是一款标准的振动传感器。?石英挠性加速度计精度高、体积小、结构简 单、工艺性好、价格低、可靠性高，导航性能–＜350μg偏置稳定性，高输入范围–可达50g，温度变化下的高稳定性，模拟输出，挠性加速度计批发，紧凑的设计。

石英挠性加速度计挠性的材料为温度性能好的石英玻璃，外形采用超声加工而成，挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法；也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料，但造价很高。石英挠性加速度计在结构上强行磁*对顶固定，石英挠性加速度计，互为对方的反向磁片，在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时，由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩，然后通过换能器将此机械运动转换成电信号，再通过伺服放大器变成电流信号，电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc，与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡，直到再次恢复到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理，研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据，采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后，石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子*移量由10-4数量级提高到10-5数量级，零偏*移量由800μg提高到52μg.

悬浮光力学是光力学与*光学结合的产物，为微纳机械振子的控制和测量提供了一种全新的*方法，这种方法具有准确的观测精度，可接近甚至突破标准**限，具有广阔的发展和应用前景。目前国际上已在室温下利用此系统实现了力、力矩、位移、加速度等多个物理量的*高灵敏度测量。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计，通过检测质量来检测外界的加速度信号，再经伺服电路解调、放大，在输出电流信号正比于加速度信号。

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