世豪电力分享：真空漏孔是向真空端(出口压力小于1000Pa)提供稳定气体流量的装置，目前国际上大多数计量实验室建立了相应的校准装置，常用的方法有定容法、恒压法、质谱比较法等。定容法通过多台不同量程的电容薄膜真空计(CDG)测量定容室中压力的变化率实现校准，通常的校准范围为10-1~10-6Pa.m3/s；恒压法是保持压力不变的条件下，采用自动伺服系统控制活塞移动，通过测量体积的变化率实现校准，该装置的特点是设计和使用相对复杂，通常的校准范围为10-3~10-8Pa#m3/s；质谱比较法是用标准流量系统提供气体流量，采用四****质谱计(QMS)或检漏仪作为比较器，通过测量示漏气体在质谱分析室中形成的动态平衡分压力(实际是离子流)实现校准，标准流量通常由恒压法、小孔流导法、分流法流量计提供，真空查漏，装置的校准范围取决于所采用流量计提供的标准流量范围。由于实验室校准装置由于结构复杂、体积和重量都比较大、成本昂贵，不能满足现场真空漏孔的校准需求。

真空查漏公司通过标准流量系统提供标准气体流量，采用QMS作为比较器测量示漏气体(He气)在质谱分析室中形成的分压力实现校准。标准流量系统采用直径约为1Lm的小孔获得了10-10 m3/s量级的分子流导，仅用一台满量程为1.33×104Pa的CDG作为参考标准，通过直接测量和取样膨胀衰减压力两种方法为小孔入口提供较宽范围的标准压力，石家庄真空查漏，从而使装置获得了3.5×10-6~4.6×10-11 Pa.m3/s的校准范围，其合成标准不确定度为1.8%~2.0%。

选择检漏方法的原则：主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合，为找到一个单个漏孔，所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1～2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W，郑州真空查漏，而必须选用的检漏灵敏度为10-12～10-13W；

针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He 和入口压力为100 kPa 下的漏率，采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时，在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小，并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。