目前真空检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。

充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。

真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。

有漏气必有漏孔，真空技术中通常指的漏孔是非常微小的，其截面形状各不相同，漏气路径也各式各样。漏孔常出现在焊缝搭头、应力集中、弯折、拆卸等部位，一般是由于焊接、表面不清洁、工艺规范不当、结构不合理、安装不仔细等原因造成。

漏孔的漏率也就是通过漏孔的气体流量，这个气体流量受环境温度、漏孔两端的压差和气体种类等因素的影响。因此为了客观地反映漏孔的大小，就必须考虑到上述三个因素。一般为了设计、计算和运用方便起见，将漏孔的漏率定义为：在环境温度23℃条件下，漏孔的一端为一个标准大气压，而另一端为真空状态时，单位时间内流过漏孔的空气的气体量。

真空检漏装置适用于火力发电厂，燃气发电厂，垃圾焚烧发电厂等发电企业。真空检漏装置是发电厂凝汽器在线监测冷却水泄漏的装置，它能快速地判断凝汽器是否泄漏，准确检测泄漏点的位置，并能通过计算机数据采集系统对其分析数据进行采集分析，对凝结水水质的有效控制起着非常重要的作用。

真空检漏装置是利用真空泵将凝结水从处于真空运行状态下的凝汽器热井中抽出，将抽出的样水通过在线化学分析仪表测量其相关化学指标，综合比较分析其测量值以达到检测出凝汽器泄漏点并计算泄漏率以即时处理的目的。它的应用，将保证凝汽器长期安全可靠地运行，并大大降低凝汽器泄漏事故检修时工作人员的劳动强度、耗费时间及效益损失。