随着时间的推移，无尘洁净室净化工程逐渐成长并广泛应用于各领域，各种技术术也在不断的创造和运用，由此产生了各种洁净室净化方式。将其概括可分为物理式净化方式、静电式净化方式、化学式净化方式、其他净化方式。

一、无尘洁净室物理式净化方式

1、吸附性过滤—活性炭，活性炭是一种多孔性的含炭物质， 它具有高度发达的孔隙构造， 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，车间净化工程价格，所有的分子之间都具有相互引力。

2、机械性过滤—HEPA网，HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为*空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

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单向流洁净室一般有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流系统中，气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中，气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。由满布洁净室吊顶的*过滤器向室内送风

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复合式(Mixed Type)： 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，电子车间净化工程，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，营口净化工程，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为比较适宜使用。*、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，无尘车间净化工程，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。