分子泵 分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都采用复合分

子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步

抽速，西门子椎体真空泵销售，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其

他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜安装上应用，既进步了消费效率又****了膜层质量。随着中

国半导体工业、薄膜产业和科学研讨事业疾速开展，分子泵应该是中国真空泵制造业开展的*。首先，分子泵

要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场所的需求。

2）罗茨泵－水环泵－大气泵机组：即便采用双级水环泵，****限真空度的进步也只是在一定的范围之内，这是因

为遭到水的饱和蒸汽压的限制。水环泵的理论****限压力就是水的饱和蒸汽压。假如思索气体返流等要素的影响，

实践上水环泵的****限压力显著比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为了进步前级泵的****限真空度，还能够使水环泵

与大气泵组合运用。这样，串联*大气泵后的****限真空度可达20~30Torr，西门子椎体真空泵批发，假如水环泵与二级大气泵组合，则****

限真空可达2~10Torr。

从国外罗茨泵消费状况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，西门子椎体真空泵选型，他们各家

罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超越5%，这5家合计才20%，罗茨泵产量不大，镇江西门子椎体真空泵，但国外罗茨泵的价

格远比国产泵要高得多。国内外简直一切大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、进步消费效率

都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领*根底上设法进入国际市场，这样就必需进一步降低国产罗

茨泵的振动噪声，*处理轴封漏油问题，改良泵的外观质量，进步泵内的光亮度和清洁度。另外，还要思索到

有些国度和地域的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在进步转速的状况下长期运转的牢靠性。