（2） *真空泵：它是应用文丘里（VENTURI）效应的压力降消费的高速射流把气体保送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可细致地分红以下几种：① 液体*真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的*真空泵。② 气体*真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的*真空泵。③ 蒸汽*真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿*真空泵

水环-罗茨泵真空机组工作原理详解 用于较高真空的罗茨真空泵(机械增压泵)不能直排大气，如直排大气会形成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太

大，从而使罗茨真空泵过载，台州水环椎体真空泵，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会形成罗茨真空泵过热致使罗茨真空泵转子之间

的微小间隙很快因热收缩而卡死。 为保证罗茨真空泵能到达较高真空必需保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵运用时必需设有前级

泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此能够****罗茨真空泵过载。前级泵能够选

用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。

分子泵 分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都采用复合分

子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步

抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，水环椎体真空泵制造商，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其

他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜安装上应用，既进步了消费效率又****了膜层质量。随着中

国半导体工业、薄膜产业和科学研讨事业疾速开展，分子泵应该是中国真空泵制造业开展的*。首先，水环椎体真空泵哪家好，分子泵

要从小到大树立完好系列，并研讨开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场所的需求。