Coll imated Light平行光以感光法进行影像转移时,谢岗圆弧面*显影,为减少底片与板面间,在图案上的变形走样起见,应采用平行光进行*制程。这种平行光是经由多次反射折射,而得到低热量且近似平行的光源,称为Coll imated Light,为细线路制作必须的设备。由于垂直于板面的平行光,对板面或环境中的少许灰尘都非常敏感,常会忠实的表现在折晒出的影像上,造成许多额外的缺点,反不如一般散射或漫射光源能够自相互补而消弥,故采用平行光时,必须还要无尘室的配合才行。此时底片与待*的板面之间,已无需再做抽真空的密接(Close Contact),圆弧面*显影服务,而可直接使用较轻松的Soft ContactOff Contact 7.
测试步骤
用初始Recipe生产测试版,并量测CD做数据分析。根据数据分析结果中Radio误差数据,调整显影工艺段Recipe,通过显影补偿手段使得Radio误差数据优。通过调整*机Bias,显影时间和蚀刻时间等参数使得CD Mean指标达标。使用优化后的Recipe生产测试版,圆弧面*显影厂,重复CD Uniformity测试,检验现有工艺条件下该指标的性能。
所以用米吐尔显影的影像特点是感光度高、影调柔和、层次丰富。这些特点正是负*光材料所要求的。因此,它是负片显影液中的主要成分。除此之外,圆弧面*显影报价,米吐尔的显影作用受离子和温度的影响较小,因此显影性能比较稳定从上述的特点可以看出,米吐尔的某些性能恰与对二酚相反,所以一般实用配方中,多数将米吐尔和对二酚一起配合使用,简称为M-Q显影液。在一定范围内改变两者的相对含量,可以获得各种照相性能要求的显影液。