滤芯安装注意事项：

　　1、新的过滤器必须用清洁剂清洗干净（请不要用酸类清洗）洗净后用高温蒸汽****、消毒、洗净的滤器要放好，水滤芯，避免污染。

　　2、在过滤器的安装时进出口不要接反，管道滤器底板边上的口是液体进口处，管道接在滤芯插口的管子是干净液体出口处。

　　3、新的滤芯是生产厂家在洁净的生产厂房内用塑料袋封装的未使用切勿撕*塑料包装，使用要求较高的滤芯，安装好后要经过高温蒸汽****消毒。

有效地去除了氧化物、钨和铜CMP浆料中的团聚颗粒和凝胶，同时不影响浆料颗粒分布。

深度过滤器具有一致的、可重复的性能

内置式预过滤连续成型孔结构，使用寿命长

陡峭的效率曲线导致小的剥离出所需的浆料颗粒，同时大幅增加去除过大的颗粒。

规格

材料

介质：聚*

芯、保持架和端盖：聚*

O型环的选择：乙烯*（EPR）

过滤精度：0.2μm，0.3μm，工业水滤芯，0.5μm，1μm，3μm，pall高纯水滤芯，

5μm、10μm、20μm、30μm和40μm（剖面滤波器去除率可以比传统的深度滤波器的额定值细5～10倍。

名义长度：254毫米/ 10英寸，508毫米/英寸英寸，762毫米/ 30英寸，1016毫米/ 40英寸。

O形环尺寸/端盖：

代码3（222双O形环平端）代码25（222双O形环平端）

操作条件

温度：82°C／180°F

压差：

0.41兆帕@ 30°C／60 psig @ 85°F；

0.34 MPa @ 50℃/50 PSID @ 120μF；

0.2 MPa @ 70℃/30 PSID @ 160μF；

0.1兆帕@ 82℃/15 PSID @ 180μF