电子束镀膜一氧化硅 速率不稳定是怎么回事

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束蒸发镀膜系统

1，电子束蒸发镀膜系统哪里有，电子术 束流稳定不？电压稳定不？

2，真空泵抽速稳定不？本底真空能抽到1X10-3 Pa不？

3，你用MFC冲入氧气的流速稳定不？你至少要等气流稳定，真空度稳定个几分钟再镀

4，SiO料有没有被污染，受潮没有。

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请教关于磁控溅射镀膜和电子束镀膜的区别

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电子束蒸发镀膜系统

这两个虽然都属于PVD，实际区别太大了，几乎没法比较，电子束蒸发镀膜系统，均匀性溅镀好，致密性溅镀好，沉积速率貌似是蒸镀高，具体建议楼主找相关书籍阅读。

一般蒸镀慢，附着力和致密性较溅镀差，颗粒尺寸较小，均匀性就看设备怎样了

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什么东西可以用到蒸发镀膜材料

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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什么东西可以用到蒸发镀膜材料

电子束蒸发镀：利用电子束加热使膜材汽化蒸发后，凝结在基片表面成膜是真空蒸镀技术中一种重要的加热方法。这种装置的种类很多。随着薄膜技术的广泛应用，不但对膜的种类要求繁多，电子束蒸发镀膜系统哪有卖，而且对膜的质量要求更加严格。电阻蒸发镀已不能满足蒸镀某些金属和非金属的需要。电子束热源能获得远比电阻热源更大的能量密度，数值可达到104-109w/cm2，电子束蒸发镀膜系统多少钱，因此可以将膜材加热至3000-6000c。这就为蒸发难熔金属和非金属材料如钨、钼、锗、SiO2、AI2O3等提供了较好的热源。而且由于被蒸镀的材料是放在水冷坩埚内，因而可避免容器材料的蒸发及容器材料与膜材之间的反应，这对****膜的纯度是****为重要的。另外，热量可直接加到膜材表面上，因此热*，热传导和热辐射损失少。

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