对净化车间微生物污染的控制措施有哪些

静电是净化车间难控制的因素之一，静电可以使半导体器件生产中的废品增多、降低电子设备的可靠性。因此，在半导体器件的生产中，所有的制造阶段都需要防止静电对器件的作用。

　　消除静电的方法很多，对有防静电环境要求的净化车间工程，常用以下几种方法：

　　1、选用合适的材料：

　　净化车间装修要采用不易产生静电或产生静电后能较快泄漏的材料，多种材料共同使用时，应选用在电序列表中位置接近的材料。所有的材料可归入电的导体或电的绝缘体。导体是电流能通过的材料，绝缘体是电流不能通过的材料。

　2、接地：

　　接地是带电导体消除静电为普遍、经济、简便、可靠的方法。

　　(1) 净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

　　(2) 电子工业洁净室的围护结构(吊顶、地面、墙、柱)应采用防静电装饰，可以*尘埃的带电吸附。

　　(3) 工艺设备接地。

　　(4)办公设备应采用能防静电的材料制成并接地。

　　(5)工作人员应穿戴防静电的无尘衣、鞋、帽、手套、腕带等。

　　3、.中和：

　　将带电体(静电)周围的空气离子化后，带电的离子在电磁场作用下发生迁移，带电体吸引异性电荷达到中和而消除静电。静电消除器是一种能产生电 子和离子的装置，它产生的电子、离子与带电体上的异性电荷中和，从而消除静电。绝缘材料表面所带的静电荷、空气中的静电荷必须用静电中和的办法来消除。

　　4、湿度控制：

　　在众多消除静电的方法中，室内湿度控制也被认为可以用来减少和消除净化车间静电。通过在环境中保持高的相对湿度，在该区域内物体的表面将形成薄薄的湿气层，利用这一薄层来提供导电的通道，使得可能产生的电荷流过该湿气层耗散静电荷。另外，薄薄的湿气层可以增加物体表面的润滑性，摩擦生电也将减少。一般来说，湿度越低，产生的电荷越多。但是资料表明，甚至在湿度高时也会产生显著的静电电压，但是，在高湿度环境中，口罩无尘车间，生产人员可能会感觉十分不舒服，零部件可能生锈，电子厂无尘车间，并产生可焊性问题。同时，企图用湿度控制来消除静电的方法显然是高耗费的，尤其在干燥地区更是如此。

复合式东莞净化车间：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)净化车间洁净地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节省装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以避免机器修理时影响了作业及品质，ULSI制程大都选用此种型式。洁净地道另有二项长处：A.弹性扩大简略；B.修理设备时可在修理区容易执行。

　　(2)净化车间洁净管道(CleanTube)：将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。

　　(3)净化车间并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；即属此类。

无尘车间防止微粒子污染的三项基本原则

室内的浮游微粒子浓度，使用的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。

　　无尘车间内该如何防止微粒子污染呢?唐鼎建设提醒，应遵守下列三项基本原则：

　　一、不携入

　　无尘车间内不携入微粒子的方法有：

　　1、作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理;

　　2、进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3、无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

　　4、机器及材料带进无尘室前应尽可能在密封状态下带进无尘室前室*后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

　　5、通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

　 二、不制造

　　在控制*大污染源——人在无尘车间内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源——制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到*小限度应采取以下对策：

　　1、采用发尘小的润滑油;

　　2、机台应用空压浮上的非接触化工作；

　　3、减少接触剥离发尘的动作形态;

　　4、原理采用磨耗发尘小的材质;

　　三、不储备

　　若能*实施“不携入”技术，东莞无尘车间，无尘车间内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。

　　在*高等级的无尘车间中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有jing确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，无尘车间装修，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间*流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。