合成树脂研磨盘采用纳米金刚石和碱性硅溶胶溶液配制的抛光液在刻槽的合成树脂铜盘上进行化学机械抛光,配合使用陶瓷环,可以很快去除机械抛光过程中造成的划痕和损伤,大大缩短加工时间,****加工效率合成盘由合成树脂,金属材料和其它材料混合加工而成。使用合成树脂研磨盘的优点:1、加工过程中对工件不会造成污点、变形、变色;2、加工过程中研磨剂不会到被加工材料中。
研磨液分类:
研磨液按其作用机理分:机械作用研磨液,化学机械作用研磨液。
机械作用的研磨液:以金刚石、B4C等为磨料,通过添加分散剂等方式分散到液体介质中,从而形成具有磨削作用的液体,汤圆搓圆机,称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游离分布,利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理,实现工件的研磨、减薄。根据磨料的表面、颗粒大小及研磨液配置、研磨设备稳定性等情况,研磨完成后,工件表面容易留下或大或小的划痕。所以,机械作用的研磨液一般用于粗磨,后续还需要精密研磨抛光。
化学机械作用研磨液:化学机械作用研磨液利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的抛光表面,是机械削磨和化学腐蚀的组合技术,它借助超微粒子的研磨作用和化学腐蚀作用在被研磨的介质表面形成光洁平坦表面。所以化学机械作用研磨液又称为化学机械抛光液(Chemical Mechanical Polishing,简称CMP)。在一定压力及抛光浆料存在下,被抛光工件相对于抛光垫作相对运动,借助于纳米粒子的研磨作用与氧化剂的腐蚀作用之间的有机结合,在被研磨的工件表面形成光洁表面。