广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业，以生产信息存储记录材料为起点，顺延产业技术发展的方向，深耕产业技术应用的潜力，经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料、金属薄膜靶材（溅射靶材，旋转靶材，平面靶材，靶材）、信息存储记录材料、工程塑料、触控显示材料、石墨烯材料、UV化工材料这七大核心技术为中心的产业集团。

1 靶材应用行业分类

1.1 装饰、工模具镀膜行业靶材铬靶（Cr），平面铬靶，高温合金靶材，喷涂铬管；

铬硅靶90/10Wt%，50/50at%，25/75at%(电弧，铜镍合金靶材，平面靶，旋转管靶）；

钛铝靶50/50at%，70Ti/30at%，67AL/33at%（电弧，平面靶，旋转管靶）；

钛铝硅靶1:1:1at%，1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；

钛靶，钛管靶，锆靶；

金靶，玫瑰金靶；

石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等。

1.2 太阳能光伏光热行业靶材

氧化锌铝靶ZAO； 硅靶；钛靶、氧化钛靶；铝靶；铬靶、镍铬；锌铝、钨、钼

靶等。

1.3 建筑汽车玻璃大面积镀膜

*靶、旋转*靶；氧化钛靶；锡靶；铬靶；硅靶；钛靶、不锈钢靶。

1.4 平面显示行业

ITO 靶；二氧化硅靶；高纯硅靶5-7N；高纯铬靶3N5；TFT 钼靶；钼铌靶；钨钛

靶90/10wt%；高纯铝靶等。

1.5 光学，合肥合金靶材，光通信，光存储行业

银靶；钽靶；硫化锌靶；高纯铝靶；硅靶。

广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业，以生产信息存储记录材料为起点，顺延产业技术发展的方向，深耕产业技术应用的潜力，经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料、金属薄膜靶材信息存储记录材料、工程塑料、触控显示材料、石墨烯材料、UV化工材料这七大核心技术为中心的产业集团。

TiO2-x(通常0lt;xlt;1)是介于Ti和TiO2之间的一种导电材料。其制备方法主要有热压烧结和等离子喷射沉积两种。用TiO2-x作为靶材镀TiO2薄膜近年来受到人们的重视。它具有以下三方面的优势: (1)沉积速率高。Ohsaki H等以TiO2-x为靶材进行平板直流磁控溅射。当溅射气氛为3% O2和97%Ar(均为体积分数)时，有效沉积速率达0.31 nm·cm2·s-1·W，而常规以Ti为靶材，气氛为100% O2时，有效沉积速率仅为0.037 nm·cm2·s-1·W，因此用TiO2-x作靶材能将沉积速率****近一个数量级，两种情况下所得薄膜的折射率几乎相同。