真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，超高真空电子束蒸发，不能蛮干，一定不能用大锤去敲。清洗零件时要干净，*，真空系统集成，以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手应多加小心，切记。千万别把楞角倒去。检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何细微的地方都可能是问题所在，真空镀膜，所以不能存在侥幸心理。

与射水抽气器比较，白山真空，离心真空泵有耗功低、耗水量少的优点，并且噪声也小。离心真空泵的缺点是：过载能力很差，当抽吸空气量太大时，真空泵的工作恶化，真空*。这对真空严密性较差的大机组来说是一个威胁。故可考虑采用离心真空泵与射水抽气器共用的办法，当机组起动时用射水抽气器，正常运行时用真空泵来维持凝汽器的真空。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。 这种泵具体可分为：

牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。

涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。