沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

影响凝汽器****有利真空的主要因素是：进入凝汽器的蒸汽流量、汽轮机排汽压力、冷却水的进口温度、循环水量、汽轮机的出力变化及循环水泵的耗电量变化等。实际运行中则是根据凝汽量及冷却水进口温度来选用****有利真空下的冷却水量，激光器真空系统，也即是合理调度使用循环水泵的容量和台数。

气体及控制系统。

*气是进行磁控溅射时应用****广泛的气体。在溅射时，*气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等，超高真空电子束蒸发，因此需要严格控制气体的进气量，真空储存，一般用质量流量计来实现控制。

溅射功率的增加会****膜厚的均匀性、溅射速率，汉中真空，随着溅射功率的增加，等离子体的面积增大，因此膜层的均匀性会****。功率的*，能*****气的电离度，*溅射出的靶材原子数量，从而****了溅射速率。