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尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,单晶边皮料,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期


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单晶硅制备与仿1真主要有两种方法:直拉法(Cz法)、区熔法(FZ法);

直拉法其优点是晶体被拉出液面不与器壁接触,不受容器限制,因此晶体中应力小,单晶边皮料回收,同时又能****器壁沾污或接触所可能引起的杂乱晶核而形成多晶。此法制成的单晶完整性好,直径和长度都可以很大,生长速率也高。所用坩埚必须由不污染熔体的材料制成。因此,一些化学性活泼或熔点****高的材料,单晶边皮料回收报价,由于没有合适的坩埚,而不能用此法制备单晶体,而要改用区熔法晶体生长或其他方法。


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