这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有酸、氮气、压缩空气、纯水，玛沁太阳能组件回收，热排风和废水。氢能够溶解二氧化硅是因与二氧化硅反应生成易挥发的四气体。若氢酸过量，反应生成的四会进

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科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，脏太阳能组件回收，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。一台微型电子计算机的售价，也只不过数百元人币。这样就为电子计算机进入千家万户铺平了道路。使我们的生活越来越现代化。

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抛光硅表面的反射率为35%，为了减少表面反射，****电池的转换效率，需要沉积一层氮化硅减反射膜。工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低

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