无尘车间空气净化处理

　　一、各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、****空气过滤器三级过滤。

　　注1：100，000级空气净化处理，洁净车间施工，可采用亚****空气过滤器代****空气过滤器。

　　二、确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。

　三、空调净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量*物质且局部处理不能满足卫生要求，洁净车间地坪，或对其他工序有危害时，则不应用回风。

　四、空调净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取****室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。

　五、空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合下列要求：

　　1、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。

　　2、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段。

　　3、****空气过滤器或亚****空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端。

　　4、中效、亚****、****空气过滤器宜按额定风量选用。

　　5、阻力、效率相近的****空气过滤器宜设置在同一洁净室内。

　　6、****空气过滤器安装方式应简便可靠，易于检漏和更换。

　　六、送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、****空气过滤器的阻力宜接其初阻力的两倍计算。

　　七、空调净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在****空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。

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洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，洁净车间设计，应该考虑人的*感。随着空气洁净度要求的****，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻*工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。