(2) 单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。
(3) 矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形过滤器,无尘洁净室,也可以用普通过滤器配扇形送风口,洁净室定做安装,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。
工作方式
乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,廊坊洁净室,000-100,000级。定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
⑴自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,洁净室安装,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,****洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间*浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再*,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。