应用原理：

在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，****后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。

一  由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。

二  同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。

三  水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。

因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。

低温捕集泵与真空泵抽除气体不同，他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空箱体内或油扩散泵泵口，利用Meissner原理，使水蒸汽，油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，****生产效率，****镀膜质量的目的。因此，低温捕集泵与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅****生产效率，****产品质量。快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30%~90%，****镀膜质量，*膜层颜色不均，容易脱落现象。

北京天寒公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口****压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、*、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于****地位，达到甚至超过国际****水平。 

主要的性能特点

  1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；

    2、****镀膜质量，防返油、不脱落、颜色纯正；           

    3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，****低可到-150℃；            

    4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;   

    5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制；                     

    6、一台设备可设计两路负载输出；                                

    7、进口压缩机，环保混合型制冷剂;                                                 

    8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；            

    9、除霜温度自由设定；
   10、具有水温温度、排气温度显示；
   11、缺水、水温过高报警；  
   12、压缩机排气过高、压力过高保护；
   13、可本地、远程控制自由转换；
   14、RS485计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。