FlexSEM1000是日立高新公司推出的机型小巧性能优异的钨灯丝电镜,拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计,配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头,具有好的低真空成像能量,并且采用的SEM MAP*导航系统及好的自动化功能,使性能更加优越,使用更加简便。
特点
1.节能环保的设计
2.G校率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察
技术参数
分辨率 | 4.0nm(加速电压20kV,高真空模式,二次电子像) |
15.0nm(加速电压1kV,高真空模式,二次电子) | |
5.0nm(加速电压20kV,低真空模式,背散射电子像) |
放大倍率 | 底片倍率:6 – 300,000x |
显示器倍率:16 – 800,000x |
加速电压 | 0.3-20kV |
低真空可变压力范围 | 6-100Pa |
马达台 | 标配三轴自动马达 |
行程 | X: 0-40mm |
Y: 0-50mm | |
R: 360 ° | |
Z: 5-15mm | |
T: -15- 90° | |
电子光学系统 | 电子枪:预对中钨灯丝 |
信号检测系统:二次电子探测器;高灵敏度背散射探测器 |
真空系统 | 全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵:61L/S 1台 |
机械泵:100L/min 1台 | |
安全装置:带停电、漏电保护的真空保护功能 | |
操作辅助功能 | 电子束旋转;动态聚焦;画质优化功能 |
数据输入;2点间测量、角度测量、文字;预设倍率; | |
样品台位置导航功能(SEM MAP);电子束标记 |