KYKY-EM3200系列
经济型扫描电子显微镜
项目 EM3200 EM3200Z EM3200A EM3200AZ
分辨率 6.0nm(30KV)
放大倍数 1.5x~250,000x
电子枪类型 发叉式钨丝阴****
加速电压 0~30KV
透镜系统 三级电磁透镜
物镜光阑 三个光阑可在真空外选择调节
样品台 手动 X/Y轴自动 手动 X/Y轴自动
行程 X 0~50mm(大样品台0~80mm)
Y 0~50mm
Z 0~25mm(大样品台0~30mm)
R 360º
T ‘-5º ~90º (大样品0º~90º)
探测器 二次电子探测器,背散射电子探测器(可选),X-ray能谱仪(可选)
真空系统 扩散泵 扩散泵 分子泵 分子泵