深圳市中图仪器股份有限公司

主营:影像仪,三坐标测量机,一键式测量仪,激光干涉仪,测长仪,轮廓测量仪

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪

面议 中国 广东 深圳 南山区

产品属性

品牌:
其他
类型:
其他
型号:
SuperView W1

 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一kuan用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪的操作较为简便,操作人员将工件放置在载物台上,调整载物台使被检测区域移动到物镜下方,调整Z轴高度,直至软件测量窗口出现干涉条纹,调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹,点击按钮进行测量,光学物镜开始对器件表面进行扫描,软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像,操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理,获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。

 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其*的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

 SuperView W1 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航kong航天、*军gong、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面,从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度,提供依据ISO/ASME/GBT国内外标准近百余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperView W1 光学3D表面轮廓仪技术指标:

光源

绿光LED

影像系统

1024×1024,(2048×2048可选)

干涉物镜

10×,(5×20×50×可选)

光学ZOOM

1×,(0.5×0.75×可选)

物镜塔台

单孔

XY位移平台

尺寸

200×200mm(可定制)

移动范围

25×25mm

负载

10kg

调节方式

手动

水平调整

±4°,手动

Z

聚焦

行程

100mm

调节方式

电动

Z向扫描范围

100µm

Z向分辨率

0.1nm

****da扫描速度

30µm/s

台阶测量

不确定度

重复性

1%

0.2%  1σ

:性能参数依据ISO 4287和ISO 25178在实验室环境下采用4.7µm台阶高标准块测shi。

光学规格表

物镜倍率

5×

10×

20×

50×

数值孔径

0.13

0.3

0.4

0.55

光学分辨率@550nmµm

2.1

0.92

0.69

0.5

焦深(µm

16.2

3.04

1.71

0.9

工作距离(mm

9.3

7.4

4.7

3.4

视场

H×V

(mm)

影像系统

1024×1024

0.5×

1.92×1.92

0.96×0.96

0.48×0.48

0.192×0.192

0.75×

1.28×1.28

0.64×0.64

0.32×0.32

0.128×0.128

0.96×0.96

0.48×0.48

0.24×0.24

0.096×0.096

影像系统

2048×2048

0.5×

4.48×4.48

2.24×2.24

1.12×1.12

0.448×0.448

0.75×

3.22×3.22

1.61×1.61

0.805×0.805

0.322×0.322

2.24×2.24

1.12×1.12

0.56×0.56

0.224×0.224

2.仪器尺寸(长×宽×高): 主机:590×600×790mm;

3.仪器主机重量:小于120Kg;

4.使用环境:无强磁场,无振动,无腐蚀气体

工作温度:15℃ ~ 30℃,温度梯度<1℃/15分钟

相对湿度:40-60%,无凝结。

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