深圳市中图仪器股份有限公司
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪
产品属性
- 品牌:
- 其他
- 类型:
- 其他
- 型号:
- SuperView W1
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一kuan用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪的操作较为简便，操作人员将工件放置在载物台上，调整载物台使被检测区域移动到物镜下方，调整Z轴高度，直至软件测量窗口出现干涉条纹，调节载物台上水平倾斜旋钮使视场内出现1~2个干涉条纹，点击按钮进行测量，光学物镜开始对器件表面进行扫描，软件实时获取图像并在扫描结束后重建出3D图像，操作者可在软件的分析界面中对图像进行处理，获取器件表面的线、面粗糙度、轮廓等2D、3D数据。
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其*的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航kong航天、*军gong、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据ISO/ASME/GBT国内外标准近百余种2D、3D参数作为评价标准。
SuperView W1 光学3D表面轮廓仪技术指标：
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光源 |
绿光LED |
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影像系统 |
1024×1024，（2048×2048可选） |
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干涉物镜 |
10×，（5×，20×，50×可选） |
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光学ZOOM |
1×，（0.5×、0.75×可选） |
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物镜塔台 |
单孔 |
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XY位移平台 |
尺寸 |
200×200mm（可定制） |
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移动范围 |
25×25mm |
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负载 |
10kg |
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调节方式 |
手动 |
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水平调整 |
±4°，手动 |
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Z轴 聚焦 |
行程 |
100mm |
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调节方式 |
电动 |
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Z向扫描范围 |
100µm |
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Z向分辨率 |
0.1nm |
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****da扫描速度 |
30µm/s |
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台阶测量 |
不确定度 |
重复性 |
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1% |
0.2% 1σ |
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注：性能参数依据ISO 4287和ISO 25178在实验室环境下采用4.7µm台阶高标准块测shi。
光学规格表
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物镜倍率 |
5× |
10× |
20× |
50× |
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数值孔径 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
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光学分辨率@550nm（µm） |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
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焦深（µm） |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
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工作距离（mm） |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
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视场 H×V (mm) |
影像系统 1024×1024 |
0.5× |
1.92×1.92 |
0.96×0.96 |
0.48×0.48 |
0.192×0.192 |
|
0.75× |
1.28×1.28 |
0.64×0.64 |
0.32×0.32 |
0.128×0.128 |
||
|
1× |
0.96×0.96 |
0.48×0.48 |
0.24×0.24 |
0.096×0.096 |
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影像系统 2048×2048 |
0.5× |
4.48×4.48 |
2.24×2.24 |
1.12×1.12 |
0.448×0.448 |
|
|
0.75× |
3.22×3.22 |
1.61×1.61 |
0.805×0.805 |
0.322×0.322 |
||
|
1× |
2.24×2.24 |
1.12×1.12 |
0.56×0.56 |
0.224×0.224 |
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2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：590×600×790mm；
3．仪器主机重量：小于120Kg；
4．使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体
工作温度：15℃ ~ 30℃,温度梯度<1℃/15分钟
相对湿度：40-60%，无凝结。