烘箱是利用电热丝隔层加热使物体干燥的设备。它适用于比室温高5~300℃（有的高200℃）范围的烘培、干燥、热处理等，灵敏度通常为±1℃。烘箱的型号很多，真空烘箱设备 ，但基本结构相似，一般由箱体、电热系统和自动控温系统三部分组成。其使用及注意事项总结如下：

1.烘箱应安放在室内干燥和水平处，防止振动和腐蚀。

2.要注意安全用电，根据烘箱耗电功率安装足够容量的电源闸刀。选用足够的电源导线，烘箱，并应有良好的接地线。

烘箱是利用电热丝隔层加热使物体干燥的设备。其使用及注意事项总结如下：

3.带有电接点水1银温度计式温控器的烘箱应将电接点温度计的两根导线分别接至箱顶的两个接线柱上。另将一支普通水1银温度计插入排气阀中，（排气阀中的温度计是用来校对电接点水1银温度计和观察箱内实际温度用的）打开排气阀的孔。调节电接点水1银温度计至所需温度后紧固钢帽上的螺丝，以达到恒温的目的。但必须注意调节时切勿将指示铁旋至刻度尺外。

4.当一切准备工作就绪后方可将试品放入烘箱内，然后连接并开启电源，红色指示灯亮表示箱内已加热。当温度达到所控温度时，红灯熄灭绿灯亮，推车烘箱，开始恒温。为了防止温控失灵，还必须照看。

烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺，烘箱恒温 ， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在*因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。