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X射线线扫描
能谱仪线扫描是指电子束沿样品表面选定的直线轨迹作所含元素浓度的线扫描分析。例如某一样品由不同层次组成，试图确定每一层次的成分时，在该样品的截面图像上从样品内部向表面拉一条直线，电子束沿着直线进行扫描，采集每一层次元素的特征X射线，它们的计数值变化将分别以曲线形式显示在荧光屏上，每条曲线的高低起伏反映所对应元素沿着扫描线浓度的变化。如下图所示，通过对电容截面图进行线扫，沿着线扫方向，从里到外大致分布为：Ba+O、Ag、Sn。
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