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半导体易产生前面所说的、*的*气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

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液环泵在工作过程中会产生热量，主要热量包括：真空泵/压缩机的无效功率；吸入气体温度较高带来的热量；吸入气体含有可凝性气体在压缩过程中释放出相变热，换热器的主要作用是通过冷却水冷却工作液，使工作液温度保持在合理的范围内。

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被抽气体从吸气口进入液环真空泵/压缩机，经液环真空泵/压缩机压缩后与部分工作液一起进入气液分离器，博山真空泵价格，在气液分离器内气液两相得到分离，气体从排气口排出，工作液经换热器被液环泵/压缩机吸入进行循环使用。

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