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半导体真空泵系统-福州真空泵系统-厦门太星机电供应批发

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厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成,公司提供国外及国内厂家生产的真空泵,检漏仪,分子泵,扩散泵,水环真空泵,螺杆真空泵,罗茨泵,真空测量,真空泵油及其备品备件。

(1)目前国内生扩散泵的厂家较多,型号、尺寸不统一,大泵越作越大,小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作,使用户配套方便。(2)泵在结构方面:要缩小尺寸、降低重量,保证零件的加工精度,可增加级数,提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。(3)增加附件。如设置挡油帽,过热保护装置(对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位)。出口压力的监控。(4)规定油量的大值和小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要观察油位,以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。(5)给出合适的前级泵的容量。(6)为了节能加热功率要可调,要快速起动和快速冷却停泵,提高设备的运转率。(7)给出各种被抽气体的性能曲线,好给出对一些气体的压缩比(方便用户选用。(8)用微机控制运行和故障诊断。(9)密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。(10)给出各种泵的返油率限定值,进一步降低返油率,扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,福州真空泵系统,成本低,只有少数部件需要维修,泵内无运动部件,工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr,使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。


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由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子,大部分由泵壁冷凝,这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射,散射会返回被抽空间,这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板,这样就能使返加的蒸气被冷凝下来,截止了油蒸气的返流。

影响油扩散泵性能的因素如下。




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锅炉内泵油的不稳定沸腾,会使喷出的蒸汽射流的密度波动,从而引起抽速和轻气体压缩比的变化。锅炉可能一时过热,使之有一段爆沸的时间,其补救的办法是在现代的油扩散泵中采用有翼片的锅炉,增加内表面积,降低热流密度,增加功率能使爆沸减低到小或消除。在真空中,*的爆沸,无油真空泵系统,会引起*升腾,对喷咀,引起瞬间堵塞,造成汽流波动。泵内加防爆板可以防止爆沸的影响,因对轻气体压缩比低,可引起压力的不稳定,增加功率和泵的级数是有利的。在扩散泵中设置侧面出口喷射喷咀和扩压器,可使扩散泵这种不稳定性减至小。顶喷咀帽过冷也会引起蒸汽流不连续,导致压力的不稳定。设法保持顶喷咀的温度不降,不使其过冷。来自橡胶密封的气泡,有时油捕集气体,通过密封胶圈渗透放出,因气泡有一定压力使油膜后进入系统中。密封槽内集存的泵油应能排出,可使不稳定减少,若用金属垫圈就更好了。设计良好的冷帽能防止油滴落到顶喷咀的热表面上蒸发。在用碳氢化合物泵油时,操作不当,扩散泵系统有发生的危险。大多数情况下规管的灯丝就是点火源。泵的日常操作要规范,定期检查泵油的质和量。




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