旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内*罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
进水管的进水口方位不对①进水管的进水口离进水池底和池壁间隔小于进水口直径。若是池底有泥沙等污物时,进水口离池底的间隔小于直径的1.5倍时,会形成抽水时进水不畅或吸进泥沙杂物,阻塞进水口。②进水管的进水口入水深度不行时,这样会引起进水管周围水面发生漩涡,影响进水,削减出水量。正确的装置办法是:中小型水真空泵入水深度不得小于300~600mm,大型水真空泵不得小于600~1000mm。
分子泵:分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的*。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。