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OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B拥有BG贴膜研磨技术

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OKAMOTO_GNX200B晶圆研磨机拥有BG贴膜研磨专利技术


OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机特点:
·GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行平坦化加工。
·耗材损耗小,成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。

OKAMOTO晶圆研磨机GNX200B规格:
规格                        GNX200B        
MAX加工直径        Ф200        
轴承旋转数        0~3600min-1        
轴承驱动电机        2.2/4 Kw/P       
主轴数                        2
工作轴旋转数        1~300min-1
轴承尺寸(外径)          Ф250       
质量                        3900mm        

 

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