检漏步骤为:1.检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰,很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气,氦质谱检漏仪公司,由于机械泵运转的振动较大,螺栓容易松动,波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。2.检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。
对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa.m3/s),然后对氦罩冲氦。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。
氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。消费者在挑选这种检测仪器时,必须要分析各种检测仪器的检测模式,确保这种氦质谱检漏仪以更高的灵敏度和更广阔的检测范围来提高生产的效率,