丰热科技有限公司(多图)-丰派离子氮化

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

离子渗氮表面形成的渗氮层具有优异的力学性能，如高硬度、高*性、良好的韧性和疲劳强度等，并使离子渗氮零件的使用寿命成倍地提高。此外，离子渗氮节约能源，渗氮气体消耗少，丰派离子氮化，操作环境*。其缺点是设备昂贵，工艺成本高，不宜于大批量生产。

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双*性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压*性相反同时又不断互换*性，电压*性为负时的磁控靶发生溅射，*性为正时的那个磁控靶不产生溅射。??由于阴阳*间电场正负*性来回变化，使电子路径延长，与工作气体碰撞次数增加，故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时，选用双*脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时，工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴*电压*性为负时，其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。??

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?选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双*性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。??