离子氮化-丰热科技

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

磁控靶射频放电的阴*是电容耦合电*，阳*接地;射频电压可以穿过任何种类的阻*，所以电*就不再要求是导体；电容耦合穿过绝缘材料或空间，电*就不再限于导电材料，可以溅射任何材料，因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。

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在置有板状电*的玻璃管内充入低压（约几毫米厷柱）气体或蒸气，当两*间电压较高（约1000伏）时，稀薄气体中的残余正离子在电场中加速，有足够的动能轰击阴*，产生二次电子，经簇射过程产生更多的带电粒子，使气体导电。辉光放电的特征是电流强度较小（约几毫安），温度不高，故电管内有特殊的亮区和暗区，呈现瑰丽的发光现象。

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目前，对APGD的研究结果和认识是仁者见仁，智者见智。APGD的研究方兴未艾，离子氮化，已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。由于大气压辉光放电目前还没有一个认可标准，许多实验所看到的放电现象和辉光放电很相似即出现视觉特征上呈现均匀的“雾状”放电，而看不到丝状放电，但这种放电现象是否属于辉光放电目前还没有共识和定论。