涂层测厚仪-湖南测厚仪-一六仪器

一六仪器 *测厚仪 多道脉冲分析采集，*EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件，LED和照明，家用电器，通讯，汽车电子领域.EFP算法结合*定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

镀层厚度分析仪的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法，湖南测厚仪，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中*种是有损检测，荧光测厚仪，测量手段繁琐，涂层测厚仪，速度慢，多适用于抽样检验。

X射线和β射线法是无接触无损测量，测量范围较小，X射线法可测*薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆

层测厚时采用。

江苏一六仪器 X射线荧光光谱仪XTU/X-RAY系列

技术参数

X射线装置：W靶微聚焦加强型射线管

准直器φ 0.05 mm ；φ 0.1 mm；φ 0.2 mm；φ 0.5 mm； 准直器任意选择或者任意切换

近测距光斑扩散度：9%

测量距离：具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异型样品，变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm)

样品观察：1/2.5彩色CCD，变焦功能对焦方式高敏感镜头，手动对焦

放大倍数：光学38-46X，数字放大40-200倍

随机标准片：十二元素片、Ni/Fe 5um、Au/Ni/Cu 0.1um/2um

其它附件：联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱

一六仪器 *测厚仪 多道脉冲分析采集，*EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件，LED和照明，家用电器，通讯，汽车电子领域.EFP算法结合*定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

这些方法中*种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。X射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测厚仪厂家，测量范围较小。因有源，使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测*薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。

随着技术的日益进步，特别是近年来引入微机技术后，采用磁性法和涡流法的测厚仪向微型、智能、多功能、、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米，精度可达到1%，有了大幅度的提高。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研使用广泛的测厚仪器。采用无损方法既不*覆层也不*基材，检测速度快，能使大量的检测工作经济地进行。