湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双*性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。?双*脉冲中频靶电源用于辉光放电?。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应。在阴-阳*间加上直流电压时,腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动,于是电流从零开始增加;当*间电压足够大时,所有的带电离子都可以到达各自电*,这时电流达到某一1大值(即饱和值);??
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,离子氮化炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
双*性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压*性相反同时又不断互换*性,电压*性为负时的磁控靶发生溅射,*性为正时的那个磁控靶不产生溅射。??由于阴阳*间电场正负*性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双*脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。??磁控靶阴*电压*性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。??