八寸晶圆切割机 激光晶圆切割机

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Dicing saw<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">是切割机为使用切割刀片针对玻璃、陶瓷等被加工物进行切割的装置。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">全自动切割机是从装片、位置校正、切割、清洗<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">/<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">干燥、到卸片为止的一系列工序，皆可全部实现自动化操作。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">半自动切割机是被加工物的安装及卸载作用均采用手动方式进行、只有加工工序实施自动化操作。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">晶圆切割的目的，主要是要晶圆上的每一顆晶粒<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">( Die )<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">加以切割分离。首先要将晶圆<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">(Wafer)<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">的背面贴上一层胶带<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">(WaferMount),<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">之后再将其送至晶圆切割机加以切割。切割完后<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">一颗颗的晶粒会井然有序的排列黏贴在胶带上<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">同时由于框架的支撑可避免晶粒因胶带皱褶而产生碰撞<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">而有利于搬运过程。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">晶片切割机是非常精密之设备<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">其主轴转速约在<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">30,000<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">至<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">60,000rpm<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">之间，由于晶粒与晶粒之间间距很小而且晶粒又相当脆弱<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">因此精度要求相当高，且必須使用磨石刀刃來进行切割<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">而且其切割方式至统磨削的方式把晶粒分开。由于系统用磨削的方式进行切割，会产生很多的小粉屑<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">因此在切割过程中必須不断地用净水冲洗<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">以避免污染到晶粒。除上述几点外<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">在整个切割过程中尚须注意之事项颇多<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">例如晶粒需完全分割但不能割*承载之胶带<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">切割时必须沿着晶粒与晶粒间之切割线不能偏离及蛇行<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">切割过后不能造成晶粒之崩塌或裂痕等等。为解決上述诸多问题<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">,<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">各种自动侦测、自动调整及自动清洗的设备都会应用到机器上以减少切割时产生错误而造成之损失。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">加工范围（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Max Working Area<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">160mm*160mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">解析能力<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">(Resolution)         Y<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">轴<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">0.0002mm Z<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">轴<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333"> 0.0001mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">刀具尺寸（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Max Blade <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">φ<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">D<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">    76.2mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">X<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">轴行程（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">X-axis Tr*el Stroke<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">          192mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Y<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">轴行程（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Y-axis Tr*el Stroke<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">         162mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Z<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">轴行程（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Z-axis Tr*el Stroke<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">      30.6mm

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">移动速度（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Feed Speed<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">        0.1-300mm/sec(Max)

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">主轴转速（<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Spindle speed<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">）<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">      10000rpm(Max)

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ PC<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">基板程序

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ GUI (Graphic User Interface)

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">简单操作

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">使用者便利的系统

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">较高的准确性

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">通过<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">Vision Camera<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">的自动排列功能

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ Dicing saw <*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">是切割机为使用切割刀片针对矽<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"MS Gothic""><*n style="color:#333333">・玻璃・陶瓷等被加工物<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">进<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"MS Gothic""><*n style="color:#333333">行切割的装置<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">。

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">半自动切割机为被加工物的安装及卸载作业均採用手动方式进行<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">、<*n style="font-size:12.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">仅有加工工序实施自动化操作

<*n style="font-size:11pt"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:15.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">应用领域

<*n style="font-size:11pt"><*n style="background-color:white"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:10.5pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ LED

<*n style="font-size:11pt"><*n style="background-color:white"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:10.5pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ PCB

<*n style="font-size:11pt"><*n style="background-color:white"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:10.5pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ Glass

<*n style="font-size:11pt"><*n style="background-color:white"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:10.5pt"><*n style="font-family:"Malgun Gothic","sans-serif""><*n style="color:#333333">◆ Silicon wafer

<*n style="font-size:11pt"><*n style="background-color:white"><*n style="font-family:Tahoma,sans-serif"><*n style="font-size:15.0pt"><*n style="font-family:宋体"><*n style="color:#333333">产品规格