湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
磁控靶的阴*接靶电源负*,阳*接靶电源正*,离子氮化炉,进入正常溅射时,一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”?运行。其特点是,随着调节电源输出的磁控靶工作电压的增加,溅射电流也应同步缓慢上升
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1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度低于15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻*匹配。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
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离子渗氮与气体渗氮相比能源消耗少。由于离子氮化法利用辉光放电直接对工件进行加热。也无需特别的加热和保温设备,且可以获得均匀的温度分布,与间接加热方式棚比加热效率可提高2倍以上,达到节能效果,可大大降低处理成本。