四川氮化炉-湖北丰热科技公司(图)

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），氮化炉，*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

将两个面积不相等的电*置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电，面积小的那个电容耦合阴*有可能形成并建立阴*靶表面的负偏压，并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电*自给偏压的形成，可以防止绝缘层表面正电荷的积累，有助于射频放电的维持。阴*靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值，1高时可达千伏量级。

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辉光放电（glow discharge）是指低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀薄气体中的自持放电（自激导电）现象。由法拉个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于乃稳压管、氦乃激光器等器件的制造。

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辉光离子氮化作为七十年代兴起的一种新型渗氮方法与一般的气体渗氮相比，辉光离子渗氮的特点有：渗氮速度较快，可适当缩短渗氮周期，离子氮化时间短，能缩短到气体氮化时间的1/3～2/3。渗氮层脆性小，离子氮化表面形成的白层很薄，甚至没有，另外引起的变形小，特别适宜于形状复杂的精密零件。

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