离子氮化炉-湖北丰热科技

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

辉光离子氮化是利用辉光放电原理进行的。辉光放电是当气体越过电晕放电区后，若减小外电路电阻，或提高全电路电压，继续增加放电功率，放电电流将不断上升。同时辉光逐渐扩展到两电*之间的整个放电空间，发光也越来越明亮。当电子能f提高，也就是增强电场的操作参数，则能使电晕放电过渡到辉光放电。

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磁控靶的阴*接靶电源负*，阳*接靶电源正*，进入正常溅射时，一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”?运行。其特点是，离子氮化炉，随着调节电源输出的磁控靶工作电压的增加，溅射电流也应同步缓慢上升

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将两个面积不相等的电*置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电，面积小的那个电容耦合阴*有可能形成并建立阴*靶表面的负偏压，并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电*自给偏压的形成，可以防止绝缘层表面正电荷的积累，有助于射频放电的维持。阴*靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值，1高时可达千伏量级。