山东往复真空泵公司-河南往复真空泵-博山真空泵厂(查看)

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半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能*为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，山东往复真空泵怎么收费，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，山东往复真空泵公司，造成压力上升或超压，一点中提到的*性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

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一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，山东往复真空泵厂家，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。

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真空泵跳闸原因主要有以下几点：真空泵长时间停用，如果停用真空泵时间过长电机负载会导致暂时性电流过高，此时封闭真空泵进气口运行使泵体加热即可

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