兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻中的基本物理及化学现象:
在干法蚀刻中,随着制程参数及电浆状态的改变,可以区分为两种*端的性质的蚀刻方式,即纯物理性蚀刻与纯化学反应性蚀刻。纯物理性蚀刻可视为一种物理溅镀(Sputter)方式,它是利用辉光放电,将气体如Ar,解离成带正电的离子,再利用偏压将离子加速,溅击在被蚀刻物的表面,而将被蚀刻物质原子击出。此过程乃完全利用物理上能量的转移,故谓之物理性蚀刻。其特色为离子撞击拥有很好的方向性,可获得接近垂直的蚀刻轮廓。但缺点是由于离子是以撞击的方式达到蚀刻的目的,因此光阻与待蚀刻材料两者将同时遭受蚀刻,造成对屏蔽物质的蚀刻选择比变差,同时蚀刻终点必须*掌控,因为以离子撞击方式蚀刻对于底层物质的选择比很低。且被击出的物质往往非挥发性物质,而这些物质容易再度沉积至被蚀刻物薄膜的表面或侧壁。加上蚀刻效率偏低,因此,以纯物理性蚀刻方式在集成电路制造过程中很少被用到。
纯化学反应性蚀刻,则是利用电浆产生化学活性*强的原(分)子团,此原(分)子团扩散至待蚀刻物质的表面,并与待蚀刻物质反应产生挥发性之反应生成物,并被真空设备抽离反应腔。因此种反应完全利用化学反应来达成,故谓之化学反应性蚀刻。此种蚀刻方式相近于湿式蚀刻,只是反应物及产物的状态由液态改变为气态,并利用电浆来促进蚀刻的速率。因此纯化学反应性蚀刻拥有类似于湿式蚀刻的优点及缺点,即高选择比及等向性蚀刻。在半导体制程中纯化学反应性蚀刻应用的情况通常为不需做图形转换的步骤,如光阻的去除等。
兴之扬微孔网片能加工多小的孔?
对于加工微孔网片来说,不了解的人常问我们的问题就是“兴之扬微孔网能加工多小的孔”。有些客人以为蚀刻可以加工任意大小任何形状的孔,其实并不是这样。蚀刻虽然加工的孔比激光和冲压的孔更精密孔径更小,但是还是受到材料,厚度等条件的限制,并不是所有的孔径都能无条件加工。
首先我们需要了解一下微孔网蚀刻加工开孔的原理:微孔网一般是金属材质,主要以不锈钢为主。蚀刻就是通过丝印或网印的方式,通过*显影把材料上不需要开孔的部分遮住,然后用化学或电化学方式腐蚀出孔的部分,*后褪去保护不被腐蚀的外膜,这样就能获得所需的微孔网片。
微孔网能做多小的孔和菲林制图非常相关,一般来说,如果菲林能刻0.04mm的孔径和0.04mm的缝宽,在此基础上能够加工0.05mm的孔,基本来说真实蚀刻的孔径一般是菲林孔径的1.2倍。
微孔网能加工多小的孔和材料厚度也有关系,以垂直开孔为例,一般的话孔径会在厚度的1.2倍,也有能够达到1:1的,也就是多厚的材料加工多大的孔。如果是开锥形孔,也叫喇叭孔,在这种情况下,需要开孔工件的材料厚度可以是开孔孔径的2倍。
怎样鉴别蚀刻不锈钢的质量和真假区分
蚀刻不锈钢类繁多,常温下按*结构可分为奥氏体型和马氏体或铁素体型。310S不锈钢板奥氏体型是无磁或弱磁性,马氏体或铁素体型是有磁性。然而,也并不一定如斯。如通常用作装修管板的奥氏体型的304不锈钢板材质,一般来讲是无磁性的,但因冶炼造成化学成分波动或加工状态不同也可能泛起磁性,这不能以为不是真的或分歧格。蚀刻不锈钢价格另外304蚀刻不锈钢经由冷加工,*结构也会向马氏转化,冷加工变形度越大,马氏体转化越多,钢的磁性就越大。相反,质量次一点的200系列蚀刻不锈钢,很有可能不带磁性,由此判断它是货真价实的不锈钢,就大错特错了。