真空镀膜设备的环境要求
由于真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。
我国制定的各种真空镀膜设备的行业标准(包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备)都对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求,才能使该设备正常运转,加上正确的镀膜工艺,方能生产出合格的镀膜产品。
四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化钛TiO2,二氧化锆ZrO2,二氧化铪HfO2,一氧化钛TiO,五氧化三钛Ti3O5,五氧化二铌Nb2O5,五氧化二钽Ta2O5,氧化钇Y2O3,氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。
3.其它化合物:硫化锌ZnS,*ZnSe,氮化钛TiN,碳化硅SiC,钛酸镧LaTiO3,钛酸钡BaTiO3,钛酸锶SrTiO3,钛酸镨PrTiO3,等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料:高纯铝Al,高纯铜Cu,高纯钛Ti,高纯硅Si,高纯金Au,高纯银Ag,高纯铟In,高纯镁Mg,高纯锌Zn,高纯铂Pt,高纯锗Ge,高纯镍Ni,高纯金Au,金锗合金AuGe,金镍合金AuNi,镍铬合金NiCr,钛铝合金TiAl,锌铝合金ZnAl,铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。
真空镀膜机的特点
真空电镀即真空蒸发镀膜﹐其原理是在高度真空条件下(1.3×10-2~1.3×10-1Pa)使金属铝片受热蒸发并附于(塑料)工件表面﹐形成一层金属膜的方法﹒
真空镀膜设备真空电镀机真空电镀的特点:
1、真空镀膜所获得的金属膜层很薄(一般为0.01~0.1um),能够严格生产出啤件表面的形状
2、工作电压不是很高(200V)﹐操作方便﹐但设备较昂贵﹒
3、蒸镀锅瓶容积小﹐电镀件出数少﹐生产效率较低﹒
4、只限于比钨丝熔点低的金属(如铝﹑银﹑铜﹑金等)镀饰﹒
5、对镀件表面质量要求较高﹐通常电镀前需打底油来弥补工件表面缺陷﹒
6、真空镀膜可以镀多种塑料如﹕ABS﹑PE﹑PP﹑PVC﹑PA*MMA等﹒